品名：六氟乙烷
用途：
一：电子工业：六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要
作用，是加工大规模集成块工艺中所必需的介质；
二：制冷空调业： 六氟乙烷右用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成
不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温
段替代CF-13和R-503的替代物；
三：化学工业：六氟乙烷可用做化学反应中的添氟剂；
四：电力工业：六氟乙烷可用做电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂；
五：其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，还可用于光纤生产。
